NF3特殊氣體管路工程規劃
詢價日期:2026/07/31 15:36已截止報價
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近期公司有計畫導入NF3氣體的蝕刻製程，請協助規劃如場域區隔、環境排氣、Scrubber、氣體偵測系統、設備排氣等。
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